微(wēi)波等離(lí)子(zǐ)體(tǐ)化(huà)學氣相(xiàn‍±g)沉積法（MPCVD）是(shì)指在真空(kō¶∞ng)腔體(tǐ)中通(tōng)入高(gāo)純度的(de)氫>§α氣（H2）和(hé)甲烷氣體(tǐ)（CH4），氫氣在微(wēi)波的(de)•± 作(zuò)用(yòng)下(xià)産生(shēng)等離(lí)子(zǐ)體(t®™♠>ǐ)火(huǒ)球，甲烷氣體(tǐ)在等離(lí)子(zǐ)作(zuò)用(yòng)下↑$(xià)打開(kāi)化(huà)學鍵'>₽變成了(le)遊離(lí)的(de)碳原子(zǐ)（C）和(hé)氫原子(zǐ)（H✔α€），遊離(lí)的(de)碳原子(zǐ)在強大(dà)能(néng)量的(de)等離(lí)子♠<₹(zǐ)作(zuò)用(yòng)下(xià)逐步會(huì)<α沉積在腔體(tǐ)底部的(de)金(jīn)剛石種子(zǐ✔♣)上(shàng)，使種子(zǐ)逐步長(cháng)厚最終形成與天然金(φ>≈¥jīn)剛石結構成分(fēn)完全一(yī)樣的(de<≈Ω)CVD金(jīn)剛石。